臺積電2nm工藝2023年風險試產良率或達90%
據臺灣經濟日報報道,臺積電2nm工藝取得重大突破,研發進度超前,業界看好其2023年下半年風險試產良率就可以達到90%。
本文引用地址:http://www.j9360.com/article/202009/418649.htm供應鏈透露,有別于3nm和5nm采用鰭式場效應晶體管(FinFET),臺積電的2nm工藝改用全新的多橋通道場效電晶體(MBCFET)架構。
據悉,臺積電去年成立了2nm專案研發團隊,尋找可行路徑進行開發。
考量成本、設備相容、技術成熟及效能表現等多項條件,2nm采以環繞閘極(GAA)制程為基礎的MBCFET架構,解決FinFET因制程微縮產生電流控制漏電的物理極限問題。
極紫外光(EUV)微顯影技術的提升,使臺積電研發多年的納米片(Nano Sheet)堆疊關鍵技術更為成熟,良率提升進度較預期順利。
臺積電此前透露2nm研發生產將在新竹寶山,規劃P1到P4四個超大型晶圓廠,占地90多公頃。
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