基于單片機的靜電探針自動測量系統
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引言
本文引用地址：http://www.j9360.com/article/172689.htm靜電探針又稱langrnuir探針，是一種用來進行等離子體參數測量的基本的診斷工具，通過靜電探針的，I-V特性曲線可以計算出等離子體的電子溫度、密度、空間電位和懸浮電位等重要參數。靜電探針，I-V特性曲線如圖1所示。目前，隨著等離子體在對金屬、微電子、聚合物改性，聚合、生物功能材料相容性處理，低溫殺毒以及空間技術等諸多領域的廣泛應用。開展靜電探針自動測量技術的研究開發工作，對提高等離子體應用研究工作的效率具有一定的促進作用。本文介紹的自動測量系統是以單片機為核心，采用A/D和D/A技術，能夠快速、準確地給出靜電探針I-V特性曲線。
1 系統概述
本自動測量系統以AT89S52單片機為核心，通過D/A轉換器、功率放大器后輸出±50V的掃描電壓加在探針的一端（以雙探針為例），同時把另一個探針上流過的微弱電流信號經取樣電阻網絡轉換成電壓信號，再經儀用放大器放大，電壓轉換后，通過A/D轉換器進行采樣。單片機把采集到的數據通過串口上傳給PC機，以便數據的進一步處理。PC端監控軟件通過串口向下位機傳送命令參數，控制數據的接收和發送，用戶使用方便，從而提高了這一領域的自動化水平。
系統結構如圖2所示。
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