用百分表(精度為0.01 mm)對工作臺兩個方向的重復定位精度進行了測試。首先將工作臺某一位置進行零點標定，并向一個方向給出一定步數的脈沖，然后再返回相同的步數，記錄與零點的偏差，重復進行10次，計算這一步數的重復定位誤差。在X軸方向取1.4 mm(35步)，2.8 mm(70步)和4.8 mm(120步)，在y軸方向取1.2 mm(30步)，2.4 mm(60步)和4.0 mm(100步)。計算結果是：在x方向上的標準偏差分別為σ1=0.018 mm，σ2=0.025 mm和σ3=0.032 mm，平均標準偏差σX=0.025 mm;在y方向上的標準偏差分別為σ1=0.009 mm，σ2=0.014 mm和σ3=0.023mm，平均標準偏差σy=0.015 mm。在X軸方向上的重復誤差分別為△x1=0.016 mm，△x2=0.019 mm，△x3=0.026mm;在y軸方向上的重復誤差分別為△y1=0.006 mm，△y2=0.010 mm，△y3=0.017 mm。測試結果表明，顯微工作臺在X和y方向上的重復定位誤差分別為△y1=0.02 mm，△y=0.011 mm，滿足了精度要求。