B2900A在半導體激光器測試中的應用
半導體激光器是光纖通訊,激光顯示,氣體探測等領域中的核心部件,受到全世界科技人員的廣泛關注。在半導體激光器的生產、研發過程中,對激光器的光電特性的測量尤為重要,是控制激光器制備工藝的穩定性,激光器性能可靠性的關鍵環節。
本文引用地址:http://www.j9360.com/article/135804.htm半導體激光器是半導體光電轉換器件。如圖1所示,半導體激光器由多層材料構成。自下而上包括背電極,襯底,下光限制層,下波導層,有源層,上波導層,上限制層,上電極。不同層由不同的外延材料組成。如此層狀結構是為了達到1)載流子(電子,空穴)的注入復合發光,2)光子橫向限制,形成光波導的目的。外延完成的層狀結構要經過刻蝕工藝,形成脊波導,在脊波導上制備接觸電極。如此脊波導的目的是1)限制電流側向擴散,2)形成光子的側向波導。制備完的圓片經過解理,鍍膜,燒焊,壓焊引線等工藝得到待測量的激光器,如同2所示。當向激光器電極注入電流時,激光器PN結兩側的電子和空穴大量的涌入有源區,在有源區電子空穴對復合,產生大量的光子,光子在波導的作用下沿軸方向傳播,在激光器端面,反射光形成激射條件,透射光則為激光器輸出的激光。激光器工作特性主要體現在1)PN結特性,串聯電阻,2)激光器的激射閾值,激光器斜率效率。這些特性決定了激光器的出光功率 ,功率轉換效率 ,工作壽命等性質。生產和科研過程中經常采用PIV測量方法獲得這些重要參數。


半導體激光器PIV特性即對激光器注入電流I時,激光器的出光功率P和激光器兩極電壓V的響應特性。與普通的PN結二極管等兩端器件不同,半導體激光器PIV測試不僅要測量激光器的電壓-電流(V-I)特性,重要的是同時完成激光器的功率-電流(P-I)特性的測試。因此,半導體激光器PIV測試系統包括精密電流源,電壓表,功率計和負責控制、儀器間通訊、數據采集和處理的軟件部分。傳統的PIV測試系統由分立的電流源(集成有電壓表),電流計和控制軟件組成。電流源用于提供激光器注入電流和測量電壓,電流計連接積分球用于測量激光器功率,電流源和電流計通過GPIB端口與軟件聯接,完成測量觸發,數據傳輸等任務。
復雜的PIV測試系統存在很多問題,包括1)測量速度不高,單位時間內測量的點數少,增加了測量耗時;2)系統的穩定性差,由GPIB端口連接的儀器間會出現數據傳輸阻塞的問題,系統容易癱瘓;3)系統的可控性差,測量速度、掃描點數,掃描方式不可根據測量要求進行調整。在大量的半導體激光器光電測試過程中,傳統的PIV測試系統出現了效率低、可靠性、可控性差的問題。
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