中微半導體設備制造暨研發中心啟用
中微半導體設備致力于設計及生產,用于12寸晶圓廠關鍵性設備的高科技公司。目前研發總部位于中國上海,并在臺灣、新加坡、日本、韓國等地設有服務據點。
本文引用地址:http://www.j9360.com/article/121743.htm中微半導體自主開發的12寸蝕刻機臺Primo-DRIE,已在全球成功打進位于亞洲9家的客戶的12條晶片生產線,并順利量產了兩百多萬45及40奈米技術的晶圓,28奈米部分制程技術也通過了驗證。其線寬均勻性已達到2奈米以下,并實現正負1%的重復性和穩定性。中微半導體設備公司作為一家國際性公司,非常愿意在臺灣投資、生根,成為亞洲地區的研發、生產及制造基地,與客戶及供應商一起深耕臺灣半導體產業。
中微半導體成立于2004年,臺灣分公司于2007年登記成立,并于2010年底進駐竹南科學園區。廠房建置自2011年2月開始進行,于極短時間內即完成廠內無塵室設備的運轉,并于5月下旬開始了第一臺十二寸蝕刻自有產品Primo-DRIE的組裝測試,預計于9月中即可正式出貨給臺灣重要的客戶。
2011年中微半導體已投入金額約1億元,完成臺灣生產線的設立,AMEC臺灣的產線不單單負責生產機臺,還涵蓋后端的組裝、測試,也就是說從臺灣工廠出貨的機臺,將可以直接運送到客戶端作生產用,而不再需要運到第三地作其他的加工或是測試。
未來將再投入2至3億元建立研發中心,和客戶以及本地的關鍵零組件廠商進行共同研究開發,生產新一代的產品(CIP,Continuous Improvement Parts),以帶動國內科學園區的產值,更能藉由供應練的在地化,增加就業機會。
中微還將于今年底舉行臺中分公司新址擴大及啟用典禮,以提供中部客戶更即時的服務以及解決方案,屆時,竹南科學園區制造暨研發中心將同新竹分公司、臺南分公司、臺中分公司以及新竹和臺南物流中心一起,組成完整的研發、制造及服務鏈,為臺灣半導體客戶提供最好的服務。
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