隨著我國汽車電子、新型數字消費電子和醫療電子等產業的快速發展，對MEMS傳感器的各種新需求和基于該技術的創新不斷涌現，為此專業科技市場分析機構北京華興萬邦管理咨詢有限公司走訪了總部位于歐洲芬蘭的老牌微機電系統(MEMS)傳感器制造商VTI科技(VTI Technologies)。該公司高管告訴分析師：隨著各種新的應用不斷出現，以及MEMS器件廠商的技術創新，MEMS傳感器產業將迎來一輪新的機會。

　　VTI科技是一家在MEMS傳感器領域內擁有成熟的產品開發和生產制造經驗的企業，在赫爾辛基近郊的總部擁有一座帶有2840平米潔凈室的晶圓處理及封裝工廠。各種新應用以及相關新產品的開發是該公司目前關注的重點，同時高度重視中國等新興市場的應用開發，其亞洲總部設在中國北京。

　　作為一家擁有20多年MEMS行業經驗、年出貨量達3000多萬個傳感器的全球最大的獨立MEMS廠商之一，VTI科技的核心產品是三維微機電系統傳感器(3D MEMS)。該傳感器由帶有金屬電容板的底座、帶有運動感應結構的中間層和頂蓋三個不同的硅層用玻璃粘合在一起組成，每層都有金屬薄膜形成電極而成為電容式傳感器。

　　VTI的3D MEMS傳感器可以在三個正交的方向上檢測到加速度，而由此封裝完成的小型化傳感器可以方便地進行貼裝和安裝。同時VTI的專有技術確保了傳感器的精確性、小型化、低功耗和穩定可靠。運用這種傳感器，VTI生產出了加速度計、傾角儀、陀螺儀和壓力傳感器等系列產品。

　　從VTI的3D MEMS傳感器的技術應用方向來看，加速度計主要應用在需要靈敏檢測運動狀態，從而實現高安全性和控制的汽車及工業應用;傾角儀則廣泛應用于需要精確測量運動場景，如運動的機械、車輛、飛機、建筑設備和掌上系統等;陀螺儀則可以單獨或者與加速度計共同使用，廣泛應用于從消費電子到專用設備的各種市場;壓力元件則用于醫療設備等應用之中。

　　“作為一家MEMS傳感器先鋒廠商，VTI的產品廣泛應用于消費電子、醫療設備、汽車電子和其他各種應用之中，提升了應用產品的安全性、功能性和和效率。”VTI科技總裁兼首席執行官Markku Hirvonen對華興萬邦分析師說。“在2010年，我們每一項業務都實現了快速的恢復，來自汽車行業的需求尤為強勁。這表明MEMS傳感器正在進入一個新的發展階段。”

　　多樣化應用帶動MEMS市場發展

　　MEMS器件最早的批量實際應用源于汽車電子產業，但隨著近年來消費電子領域的創新不斷涌現，消費電子已經成為MEMS最大的應用市場，市場規模超過了15億美元，并以每年近20%的速度增長。

　　作為MEMS傳感器的第二波應用高潮，MEMS傳感器在消費電子中的應用包括運動/墜落檢測、導航數據補償、游戲/人機界面、電源管理、GPS增強/盲區消除、速度/距離計數、其他體育和保健應用等等。其中陀螺儀是增長最快的部分，已經成為加速度計后的第二大應用產品。

　　VTI在消費電子領域有著完善的MEMS解決方案，其相關產品包括應用于便攜電子產品的加速度計和陀螺儀，以及正在開發的MEMS振蕩器等。該公司的產品以小尺寸、低功耗和高精度為開發重點，近期推出了基于其3D MEMS傳感器的3軸陀螺儀CMR3000。

　　“便攜消費電子市場是VTI高度重視的一個應用市場，我們在全球市場上積極響應需求開發各種新的產品，如具有絕佳溫度穩定性的、業界體積最小和功耗最低的CMR3000用戶界面陀螺儀，以及即將推出的基于其3D MEMS和芯片技術的SiMEMS時鐘產生振蕩器。”VTI消費電子業務副總裁Sten Stockmann說。