為進一步加快推進集成電路裝備產業發展，培育壯大集成電路裝備整機和關鍵零部件產業，12月1日，遼寧省政府印發《遼寧省培育壯大集成電路裝備產業集群若干措施》(以下簡稱“《措施》”)，對集成電路產業給予獎勵。

　　《措施》指出，支持企業做大規模。對上年度營業收入首次突破1億元、5億元、10億元、20億元、30億元、50億元的企業，分別給予200萬元、500萬元、1000萬元、2000萬元、3000萬元、5000萬元的一次性獎勵。每上一個臺階獎勵一次。

　　同時，鼓勵重點企業以商招商。鼓勵企業圍繞產業鏈、供應鏈需求，引進省外具有獨立法人資格的集成電路裝備整機及關鍵零部件配套企業(項目)入駐遼寧省集成電路裝備及零部件產業園，對投資額5000萬元(含)以上的企業(項目)，按照實際投資的5%，給予招商企業最高1000萬元獎勵。

　　支持企業新產品銷售。對集成電路裝備整機和關鍵零部件制造企業首次銷售自主研制的集成電路裝備整機或核心零部件產品，按照單臺(套)或單批次合同額的30%給予獎勵。同一企業年度獎勵額度最高3000萬元，每型產品只獎勵一次。

　　支持企業投資項目建設。對投資新建(不含土地)、在建、增資擴產(含技術改造)的集成電路裝備整機和關鍵零部件項目，按實際投入總額的30%給予補助，同一項目補助資金最高1億元。

　　支持企業研發投入。對上一年度營業收入在5億(含)元以下、研發投入比例不低于10%，營業收入在5億元(不含)至10億元(含)之間、研發投入不低于7%，營業收入在10億元(不含)以上、研發投入不低于5%的集成電路裝備整機企業和關鍵零部件制造企業，給予實際研發投入的30%、最高1000萬元的研發補助。

　　此外，在支持產業鏈協同發展、加強創新平臺建設、人才引育措施等方面，遼寧省都將給予政策獎勵。本措施有效期為2023年至2025年。