在工業應用中，最常用的準分子波長是172 nm，當工業基材表面覆蓋了污染物時，污染物可以是有機物質，例如脂肪和/氧化物。172 nm波長輻射的準分子燈可以直接破壞基材表面的分子鍵，其殘留物被留在表面。在準分子模塊和基材之間的空氣間隙中，在172 nm輻射的輻射下，會產生高能氧自由基和臭氧，自由基會氧化殘留物并將其去除。

準分子燈又稱紫外準分子燈，通過采用準分子氣體的配比，可以獲得172nm、222nm或308nm等不同單色波長的準分子紫外光。準分子****的紫外光具有光譜單一、譜線窄、單色紫外輻射光譜的特點，使得使用更集中的功率進行光治療成為可能。

以172 nm的準分子波長為例，紫外線照射固體表面后，表面的污染物有機分子被強光能量切斷氧化，進而分解成氧氣、氫氣等揮發性物質，最終蒸發消失，被清洗后的固體表面異常潔凈。

與傳統的汞紫外燈相比，準分子紫外燈具有超高強度、準確靶向、無汞害、環保、可回收利用、無二次污染等優點，克服了現有技術的瓶頸，并以其高能量密度、低反應溫度、大反應面積、短反應時間等優異特性，在微電子、醫學、材料科學和環境保護領域得到了廣泛而獨特的應用。

由于高能光子可以切斷大部分化學鍵，殺死破壞核酸及其DNA的微生物，因此****能量范圍為3.5-10eV的光子的光源被用于許多領域。準分子燈的具體應用包括飲用水、游泳池水、空氣、污水凈化、工業廢物的凈化，煙道氣和水中有機化合物的光化學合成和降解，有機涂料和油漆的光聚合以及光增強化學氣相沉積。

在所有情況下，紫外光都會激發物質或裂解化學鍵，導致自由基或其他化學試劑的形成，從而引發所需的反應。通常，紫外線燈的強度監測需要一個月到兩個月做一次，但主要看具體使用情況。如果紫外燈使用比較頻繁的話，最好監測頻率也要有所提高。工采網技術工程師推薦使用紫外線傳感器來進行UV準分子燈的紫外線輻射強度監測，如工采網代理的韓國GENICOM 紫外線傳感器 - GFUV-T10GD-L，以氮化鎵鋁為基礎的材料，Schottky-type光電二極管，光伏模式操作；適用于遠紫外線監測、準分子燈監控。