- 遷移率是衡量半導體導電性能的重要參數,它決定半導體材料的電導率,影響器件的工作速度。已有很多文章對載流子遷移率的重要性進行研究,但對其測量方法卻少有提到。本文對載流子測量方法進行了小結。
- 關鍵字:
半導體材料 遷移率
遷移率介紹
遷移率
在電場作用下,半導體中的載流子作定向漂移運動,由此形成的電流稱為漂移電流。在電場強度不太大時,電子和空穴移動的速度(也稱漂移速度)vn、vp與電場強度E成正比,可表示為
vn=-mnE 或vp=mpE
式中,mn為電子遷移率;mp為空穴遷移率。遷移率m是單位電場強度引起的載流子的平均漂移速度,其數值與半導體的材料、摻雜濃度、溫度等有關。在室溫300K時,硅材料的mn =0.13 [
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