- 比利時微電子研究中心（imec），于本周舉行的2022年IEEE國際超音波會議（International Ultrasonics Symposium），展示了新型壓電式微型超音波換能器（pMUT）數組，它能與平面顯示器（FPD）制程技術兼容。新型數組可以隔空感測高于1kPa的聲壓，滿足隔空觸覺與指向聲波應用。 （A）包含22個直徑為500μm環形pMUT的相控數組大范圍影像（B）細部影像此次開發的pMUT技術不再聚焦晶圓制程，而是朝向與平面顯示器技術兼容的方向發展，方便將來與隔空感測應用整合，
- 關鍵字：
隔空觸覺 imec 超音波數組
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