埃米時代來臨,背面電軌(BSPDN)成為先進制程最佳解決方案,包括臺積電、英特爾、imec(比利時微電子研究中心)提出不同解方,鎖定晶圓薄化、原子層沉積檢測(ALD)及再生晶圓三大制程重點,相關供應鏈包括中砂、天虹及升陽半導體等受惠。 背面電軌(BSPDN)被半導體業者喻為臺積電最強黑科技,成為跨入埃米時代最佳解決方案,預估2026年啟用。目前全球有三種解決方案,分別為imec的Buried Power Rail、Intel的PowerVia及臺積電的Super Power Rail。代工大廠皆開始透過設