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等離子體 文章 進入等離子體技術社區

基于光學發射光譜法監測等離子體的光譜峰

  • 海洋光學(Ocean Optics)長期以來一直為半導體工藝設備供應商的新材料研究提供強大支持,同時協助用戶克服等離子刻蝕、沉積、涂層和清潔等方面的困難和挑戰。海洋光學的光譜儀,基于光學發射光譜技術,被廣泛應用于等離子體監測,并在刻蝕終點檢測方面表現出色。實驗配置:實驗采用光學發射光譜(OES)方法,分別使用紫外波段的ST微型光譜儀、通用型SR4光譜儀以及高分辨率的HR4和HR6光譜儀進行測試。所有光譜儀均配置了25μm的狹縫,積分時間設定為1秒,平均次數設置為1,滑動平均設置在0-1之間。根據具體使用情
  • 關鍵字: 光學發射光譜法  等離子體  海洋光學  

精確跟蹤芯片蝕刻過程,用高分辨率光譜儀監測等離子體

  • 在半導體行業,晶圓是用光刻技術制造和操作的。蝕刻是這一過程的主要部分,在這一過程中,材料可以被分層到一個非常具體的厚度。當這些層在晶圓表面被蝕刻時,等離子體監測被用來跟蹤晶圓層的蝕刻,并確定等離子體何時完全蝕刻了一個特定的層并到達下一個層。通過監測等離子體在蝕刻過程中產生的發射線,可以精確跟蹤蝕刻過程。這種終點檢測對于使用基于等離子體的蝕刻工藝的半導體材料生產至關重要。等離子體是一種被激發的、類似氣體的狀態,其中一部分原子已經被激發或電離,形成自由電子和離子。當被激發的中性原子的電子返回到基態時,等離子體
  • 關鍵字: 芯片蝕刻  高分辨率光譜儀  等離子體  

等離子體表面處理技術在醫療器械領域的應用概述

  • 對氣體施加電壓使之產生輝光放電的技術,或者稱做“等離子體”技術,在醫療器械領域已經成為了一種解決表面預處理問題的有力工具。等離子體不僅可用于表面的極端清潔和消毒,它還可以改善生物材料對體外診斷平臺。
  • 關鍵字: 等離子體  醫療器械  表面處理  

微型高分辨率光纖光譜儀在等離子體領域的應用

  • 摘要等離子體是繼氣體、液體、固體后的第四種物質的聚集態。等離子體物理學是一門蓬勃發展的新興科學,其應...
  • 關鍵字: 高分辨率  光纖光譜儀  等離子體  

自制NE555等離子體揚聲器詳解(二)

  • 上接:自制NE555等離子體揚聲器詳解(一)焊上63V 0.22微法的滌綸電容(音頻輸入)焊上電容 焊上8050和8550對管控制信號輸出串聯一個22ohm的電阻把長多出來的引腳剪短然后把NE555電路從大電路板上裁下來焊接完成 來張
  • 關鍵字: 555  NE  等離子體  揚聲器    

自制NE555等離子體揚聲器詳解(一)

  • 準備材料 :電烙鐵 *1吸錫泵*1松香*1焊錫絲*1洞洞板*1電子元件:四分之一瓦電阻:10K 18K 470ohm 22ohm *13296精密可調電位器*1三端穩壓器 7812*1濾波鋁電解電容*11nF獨石電容*163V 0.22微法滌綸電容*1IC :NE555 *1
  • 關鍵字: 555  NE  等離子體  揚聲器    

CAN總線在流光放電等離子體煙氣脫硫監控系統的應用

  • 隨著我國經濟的發展,能源消費帶來的環境污染也越來越嚴重。燃煤煙氣中排放的二氧化硫和氮氧化物占全國總排放...
  • 關鍵字: CAN總線  等離子體  脫硫監控系統  

uPD16305在等離子體顯示器中的應用介紹

  • 摘要:介紹了NEC公司生產的專用于等離子體顯示器的行驅動芯片mu;PD16305的性能特點及其它PDP顯示系統中的應用。它為PDP掃描電極的驅動電路提供了高達180V的驅動信號,顯示效果令人滿意。
    關鍵詞:等離子體顯示器
  • 關鍵字: 介紹  應用  顯示器  等離子體  uPD16305  

星弧等離子體技術在LED制作工藝中的應用

  • 前言LED是可直接將電能轉化為可見光的發光器件,它有著體積小、耗電量低、使用壽命長、發光效率高、高亮度低熱量、環保、堅固耐用及可控性強等諸多優點,發展突飛猛進,現已能批量生產整個可見光譜段各種顏色的高亮度
  • 關鍵字: LED  等離子體  制作工藝  中的應用    

等離子體表面處理技術在醫療器械領域的應用

  • 等離子體表面處理技術在醫療器械領域的應用,對氣體施加電壓使之產生輝光放電的技術,或者稱做“等離子體”技術,在醫療器械領域已經成為了一種解決表面預處理問題的有力工具。等離子體不僅可用于表面的極端清潔和消毒,它還可以改善生物材料對體外診
  • 關鍵字: 等離子體  表面  處理技術  醫療器械    

彩色表面等離子體共振成像研究

  • 自Ash和Knoll等創立表面等離子體共振成像( Surface PlasmON Resonance Imaging, SPR I)技術以來, 使得生物分子點陣的無標記并行檢測成為可能. 迄今為止, SPR I主要采用單波長激發光源, 檢測到的是單色或黑白圖像. 雖
  • 關鍵字: 成像  研究  共振  等離子體  表面  彩色  

uPD16305在等離子體顯示器中的應用

  • 摘要:介紹了NEC公司生產的專用于等離子體顯示器的行驅動芯片mu;PD16305的性能特點及其它PDP顯示系統中的應用。它為PDP掃描電極的驅動電路提供了高達180V的驅動信號,顯示效果令人滿意。
    關鍵詞:等離子體顯示器
  • 關鍵字: 應用  顯示器  等離子體  uPD16305  

介質阻擋等離子體串聯諧振式電源

  •   引言  介質阻擋放電(DBD)最早起源于對臭氧發生及其應用技術的研究。近二十多年來,由于工業等離子體化學合成與分解、環境污染治理等方面的需求,同時又由于材料科學和電力電子技術等相關學科也取得了較大的發展
  • 關鍵字: 諧振  電源  串聯  等離子體  阻擋  介質  

大功率介質阻擋等離子體電源特性及工業應用研究

  • 引言
    介質阻擋放電(DBD)最早起源于對臭氧發生及其應用技術的研究。近二十多年來,由于工業等離子體化學合成與分解、環境污染治理等方面的需求,同時又由于材料科學和電力電子技術等相關學科也取得了較大的發展,
  • 關鍵字: 工業  應用  研究  特性  電源  介質  阻擋  等離子體  大功率  電源  

表面波等離子體激勵源設計

  • 摘要:本文設計了頻率及輸出功率可調的表面波等離子體激勵源, ADF4360-7產生850MHz~950MHz頻率的振蕩信號, ADL5330、兩級功率放大器、AD8318和C8051F020控制輸出功率。實現了表面波等離子體的激發。關鍵詞:表面波;等離子體;激勵源 引言利用微波在介質表面激發出截止密度以上的等離子體,然后微波在介質與等離子體間形成表面波的傳輸,具有一定電場強度的表面波在其傳輸的范圍內可生成和維持高密度的等離子體,因此稱為表面波等離子體。將微波導入一介質管,在介質管壁上激發出表面波傳輸,即
  • 關鍵字: 嵌入式系統  單片機  表面波  等離子體  激勵源  測試測量  
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等離子體介紹

等離子體是由部分電子被剝奪后的原子及原子被電離后產生的正負電子組成的離子化氣體狀物質,它是除去固、液、氣外,物質存在的第四態。等離子體是一種很好的導電體,利用經過巧妙設計的磁場可以捕捉、移動和加速等離子體。等離子體物理的發展為材料、能源、信息、環境空間,空間物理,地球物理等科學的進一步發展提新的技術和工藝。 目錄 1 簡介 2 主要應用 3 等離子技術 4 不穩定性 5 參 [ 查看詳細 ]

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