- 簡述了離子注入技術的發展趨勢及典型應用，并簡要分析了該領域的技術發展方向。關鍵詞：離子注入； 發展趨勢； 典型應用
Development and Application of Ionimplantation Technology CHEN Jiang-hong,CHEN Yang,LI
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離子注入技術 應用實例
- 離子注入技術介紹：把摻雜劑的原子引入固體中的一種材料改性方法。簡單地說，離子注入的過程，就是在真空系統中，用經過加速的，要摻雜的原子的離子照射（注入）固體材料，從而在所選擇的（即被注入的）區域形成一個
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離子注入技術
- 簡述了離子注入技術的發展趨勢及典型應用，并簡要分析了該領域的技術發展方向。關鍵詞：離子注入； 發展趨勢； 典型應用
Development and Application of Ionimplantation Technology CHEN Jiang-hong,CHEN Yang,LI
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離子注入技術 發展趨勢 典型
離子注入技術介紹
離子注入技術是把某種元素的原子電離成離子，并使其在幾十至幾百千伏的電壓下進行加速，在獲得較高速度后射入放在真空靶室中的工件材料表面的一種離子束技術。材料經離子注入后，其表面的物理、化學及機械性能會發生顯著的變化,金屬表層所產生的持續耐磨損能力可以達到初始注入深度的2～3個數量級。 離子注入是將離子源產生的離子經加速后高速射向材料表面，當離子進入表面，將與固體中的原子碰撞，將其擠進內部，并在 [
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