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諧振式石英晶體壓力傳感器以其高精度，良好的長期穩定性廣泛應用于氣壓與高度測量、壓力自動校準以及精密過程控制等。這種高精度石英晶體壓力傳感器在結構形式上主要有2種形式，一種是厚膜切變模式，將石英晶體加工成透鏡模式，在透鏡上制作電極，利用其振動頻率與所受壓力的變化關系來檢測壓力的大小，這種傳感器對透鏡和電極的加工工藝要求很高，產品制造難度大，現已逐漸被其他結構取代；另一種是以石英諧振梁為力敏元件，用波登管或金屬膜盒來感受壓力，并將壓力轉換成力作用到諧振梁上，諧振梁的頻率隨作用壓力變化而變化
- 關鍵字：
傳感器 諧振器 激振電路 壓力敏感元件
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