- 中國上海—諾發系統有限公司正式推出VECTOR Express™新產品。VECTOR Express™是諾發公司300mm VECTOR等離子增強化學氣相沉積(PECVD)平臺的最新增強版本。VECTOR Express的工藝生產速度提高了40%,保持了業界領先的生產效率。此外,VECTOR Express還建立了薄膜工藝性能的新標桿,使該設備能夠被延伸到45nm及以下工藝節點。 VECTOR Express之所以
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