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微結構 文章 進入微結構技術社區

微結構不均勻性(負載效應)及其對器件性能的影響:對先進DRAM工藝中有源區形狀扭曲的研究

  • 隨著晶體管尺寸縮小接近物理極限,制造變量和微負載效應正逐漸成為限制DRAM性能(和良率)的主要因素。而對于先進的DRAM,晶體管的有源區 (AA) 尺寸和形狀則是影響良率和性能的重要因素。在DRAM結構中,電容存儲單元的充放電過程直接受晶體管所控制。隨著晶體管尺寸縮小接近物理極限,制造變量和微負載效應正逐漸成為限制DRAM性能(和良率)的主要因素。而對于先進的DRAM,晶體管的有源區 (AA) 尺寸和形狀則是影響良率和性能的重要因素。在本研究中,我們將為大家呈現,如何利用SEMulator3D研究先進DR
  • 關鍵字: DRAM  微結構  
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