基于光學發射光譜法監測等離子體的光譜峰

• 海洋光學（Ocean Optics）長期以來一直為半導體工藝設備供應商的新材料研究提供強大支持，同時協助用戶克服等離子刻蝕、沉積、涂層和清潔等方面的困難和挑戰。海洋光學的光譜儀，基于光學發射光譜技術，被廣泛應用于等離子體監測，并在刻蝕終點檢測方面表現出色。實驗配置：實驗采用光學發射光譜（OES）方法，分別使用紫外波段的ST微型光譜儀、通用型SR4光譜儀以及高分辨率的HR4和HR6光譜儀進行測試。所有光譜儀均配置了25μm的狹縫，積分時間設定為1秒，平均次數設置為1，滑動平均設置在0-1之間。根據具體使用情
• 關鍵字： 光學發射光譜法  等離子體  海洋光學