- 摘要：針對低溫等離子體設備系統的特點，構建了基于以太網的低溫等離子體測控系統。設計開發了帶有以太網和RS485接口的設備節點電路板，采用C#編寫了上位機軟件。測試發現通過上位機軟件或者手動的方式可以控制真空泵
- 關鍵字：
以太網 RS485 低溫等離子體
低溫等離子體介紹
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