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45納米到底意味著什么?

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作者: 時間:2007-12-29 來源:嵌入式在線 收藏
    背景:當人們以納米為單位討論IC制程時,實際尺寸的測量值到底是多少?

  有些時候一個非常直接的問題卻有一個及其麻煩的答案。上面的問題就是一個案例。

  最初,IC制程是由印刷和光刻膠所能處理的最細走線來命名的,后來成功轉變為晶圓表面的一個特性。實際中,這個特性總是用來定義MOS晶體管的閘極電極走線。所以,制程的名字就用來標識閘電極的寬度。

  為了使事件更復雜,設計者把它稱為“閘長度”。不幸的是,閘長度還是晶體管速度的一個近似測量,它決定在手工布線時你可以堆疊的晶體管數目。

  市場部門開始利用這個單詞來表征好壞,把一個物理尺寸的測量變為了市場聲勢的測量。結果,350nm由實際物理尺寸的測量變為了制程的名字。雖然這個制程也許只可以處理380nm的線寬,但是通過不同的技巧,制程工程師可以讓晶體管的溝道寬度就好像是350nm。由此開始。

  
  現在,這個數字已經恢復了一些作為物理尺寸測量的精確性。65nm制程通常確實可以實現65nm線寬。但也有例外,比如,一個公司的設計制程最終可以實現65nm的線寬,然而從經濟角度考慮他們會對關鍵的一兩條采用最合適的線寬。他們最終會宣布這是“65nm”制程,雖然當前它并不能實現65nm的功能。

  有意思的是,對于光刻流程來講現今波長193nm的光無法真正的把65nm的線由掩模轉移到晶圓的表面,所以設計者采用了很多復雜的技巧去實現這一過程,由光刻過程中衍射造成的模糊和畸變使得最終可以得到近似可信的65nm線寬。這些技巧包括給掩模上的線加“裝飾”,中間突出,在四周有晶絲,這些處理使得一個長方形看上去更象是墨漬測試里的圖形。相應的,這就意味著即使你可以在一顆中得到完美的可用65nm線寬,但是你可能無法在另一顆中得到同樣的結果。你可能必須考慮留出“裝飾”的空間。

  所以目前65nm和45nm并不完全代表線寬,當然也不代表你可以排列的晶體管的距離,雖然它們確實含有一些相關的信息。因此,最準確的描述大概還是這些數字只是制程的名字,而不是任何具體特性的測量值。


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