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LED行業用光阻劑的簡介及應用實例探討

作者: 時間:2011-07-25 來源:網絡 收藏
  • 藍光LED產品問世,開啟全彩化的LED看板在顯示面板的應用發展,由于發光二極管的發光特色,加上LED具有體積小、耗電少、壽命長、耐沖撞等優點,隨著生產技術、設備的改良,產品價格加速合理化,進而擴大LED產業的應用領域,如家電產品的指示燈、汽車車燈、交通號志及戶外大型看板等。白光LED的開發成功,更將成為室內照明及手機面板背光源的替代品,使LED產業未來的市場領域更寬廣。

    光阻,亦稱為,是一個用在許多工業制程上的光敏材料。像是光刻技術,可以在材料表面刻上一個圖案的被覆層。

      光阻有兩種,正向光阻(positivephotoresist)和負向光阻(negative photoresist)

      正向光阻是光阻的一種,其照到光的部分會溶于光阻顯影液,而沒有照到光的部份不會溶于光阻顯影液。

      負向光阻是光阻的一種,其照到光的部分不會溶于光阻顯影液,而沒有照到光的部份會溶于光阻顯影液。

      正型及負型主要是應用在制造的金屬電極蒸鍍Lift-off制程中,由于LED電極所使用的金屬材料不易經由蝕刻的方式制作電路圖形,所以利用拔起(Lift-off)微影制程,得到突起的(Overhang)光阻圖形,使金屬在蒸鍍過程中不會連續性滿布在光阻劑上,再用去光阻劑的方式將未遭金屬布蓋的光阻部份拔起,完成金屬電極的圖案。

      半導體制程常用的正型光阻劑,在光學曝光方式下,光阻劑上層接受能量較下層光阻高,使得正型光阻劑成像大部份圖形為上窄下寬,無法經一次曝光方式即得到Overhang的圖形,而負型光阻劑的成像恰好與正型光阻劑圖像相反,所以負型光阻劑是lift-off制程的最佳選擇。

    例如ENPI200光阻劑,主要是以酚醛樹脂(Novolak)及光酸為主體的化學增輻(Chemically amplified)負型光阻劑,由于酚醛樹脂可溶于堿水溶液,相較于橡膠質(Rubber type)的負型光阻劑具有環保的優點。該光阻劑成像原理為,在曝光區塊因光酸接收能量產生酸,再經曝后烤的高溫使酚醛樹脂與交連劑產生Cross-linking交聯反應而留下圖案。高解析lift-off光阻劑EPI622,則需配合客戶特殊的制程可將Overhang光阻圖線寬縮至1um以下,這適用于高亮度LED細線寬制程。



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